Peralatan siri CMP yang dibangunkan secara bebas oleh LSTD membekalkan pengeluar bahan semikonduktor seperti SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond, dan lain -lain. Peralatan kitar semula wafer telah memasuki pelbagai syarikat pembuatan semikonduktor seperti SMIC; Barisan pengeluaran automatik untuk penggilap karbida silikon akan dihantar ke kilang pelanggan untuk pengeluaran percubaan di Q 1 2024;
Berdasarkan makmal asal, berjuta -juta yuan akan dilaburkan untuk membina tahap 100000, tahap 10000, dan 100 bilik bersih dan peralatan ujian ketepatan, yang akan diperiksa dan digunakan pada separuh kedua tahun 2024.
Talian penggilap wafer 6 "/8"
6 "/8" sic wafer
Bilik pembersihan 100 kelas
Mesin pembersih pelbagai slot
Kapasiti pemeriksaan
