Mesin penggilap mekanikal kimia ialah instrumen ujian proses yang digunakan dalam bidang elektronik dan teknologi komunikasi, sains dan teknologi penerbangan dan aeroangkasa.
Gunakan air ternyahion untuk menampal wafer silikon atau gunakan wafer silikon penjerapan vakum untuk menggilap, meninggalkan cara tradisional mewax dan menampal wafer silikon, yang kondusif untuk pembersihan wafer silikon selepas menggilap. 2. Dengan fungsi tekanan belakang, ia boleh meningkatkan keseragaman penggilap dengan ketara. 3. Dilengkapi dengan sistem pengesanan titik akhir penggilap untuk mengelakkan penggilapan berlebihan. Mengambil SiO2 sebagai contoh, WIWNU (in-chip non-uniformity) Kurang daripada atau sama dengan 3 peratus , WTWNU (in-chip non-uniformity) Kurang daripada atau sama dengan 5 peratus , dan RMS (20μm ×20μm) kurang daripada 0.4nm.
